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Hecho en Colombia
Mathieu EDELY
Institut des Molécules et Matériaux du Mans
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Le Mans University
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Full-field and contact-less topography of nanometric thin films based on multiwavelength interferometry
Acceso Cerrado
ART-ART_D
ID Minciencias: ART-0000033294-31677
Fuente: Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
Pascal PICART
MohammedShakil Malek
Jorge Ivan Garcia Sucerquia
R Moalla
Mathieu EDELY
Delorme Nicolas
Jean François Bardeau
Temas:
Wafer
Optics
Materials science
Interferometry
Silicon
Wavelength
Groove (engineering)
Michelson interferometer
Substrate (aquarium)
Optoelectronics
Physics
Oceanography
Metallurgy
Geology
Publicado: 2015
Citaciones:
3
Altmétricas:
0
Artículo de revista
Topography of nanometric thin films with three-wavelength digital interferometry
Acceso Cerrado
ART-ART_A2
ID Minciencias: ART-0000033294-31678
Fuente: Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS
Pascal PICART
Mokrane Malek
Jorge Ivan Garcia Sucerquia
Mathieu EDELY
Rahma Moalla
Delorme Nicolas
Jean François Bardeau
Temas:
Optics
Materials science
Wafer
Interferometry
Wavelength
Groove (engineering)
Substrate (aquarium)
Optoelectronics
Physics
Oceanography
Metallurgy
Geology
Publicado: 2015
Citaciones:
1
Altmétricas:
0
Artículo de revista
1
NaN
