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Hecho en Colombia

Composition and mechanical properties of AlC, AlN and AlCN thin films obtained by r.f. magnetron sputtering

ID Minciencias: ART-0000154490-68

Ranking: ART-ART_A1

Idioma: Inglés

Publicado: 01/07/2009

APC (est): No disponible

JSON

Abstract:

Aluminum carbide (Al¿C), aluminum nitride (Al¿N), and aluminum carbonitride (Al¿C¿N) thin films were grown onto Si [100] substrates by r.f. reactive magnetron sputtering at 400 °C.

Tópico:

Metal and Thin Film Mechanics

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Información de la Fuente:

FuenteNo disponible	Cuartil año de publicaciónNo disponible	Volumen203
Issue1	Páginas1904 - 1907	pISSNNo disponible
ISSNNo disponible	Perfil OpenAlexNo disponible

Enlaces e Identificadores:

Minciencias ID	ART-0000154490-68	Scienti ID	0000154490-68

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