Se propuso producir películas delgadas de BiFeO3 con espesores controlados, baja rugosidad y estructura perovskita por la técnica de Deposito por Láser Pulsado (PLD). Para crecer las películas y estudiar su estructura cristalina, se realizaron 2 metodologías diferentes: (1) variación de la presión de oxígeno con temperatura en el sustrato (Ts) ambiente, (2) con presión constante, Ts ambiente y posterior tratamiento térmico. Para el análisis estructural se efectuó Difracción de Rayos X de Ángulo Incidente (DRX-AI) y Microscopia de Fuerza Atómica (AFM), obteniendo parámetros de red y rugosidad respectivamente, utilizando los software MDI Jade, GSAS y SPIP para este fin. Se notó durante el análisis de las muestras, que la intensidad de los picos de difracción incrementa con la presión de oxígeno; además, a medida que incrementa el tiempo de recocido, aumenta la definición y la intensidad de los picos de la fase. Esto indica, que el tratamiento térmico es un aliado en la difusión de los átomos, obteniendo una mayor cristalinidad en las muestras.