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FuenteMaterials Science in Semiconductor Processing | Cuartil año de publicaciónNo disponible | Volumen168 |
IssueNo disponible | Páginas107805 - 107805 | pISSNNo disponible |
ISSN1369-8001 | Perfil OpenAlexhttps://openalex.org/S82126420 | |
| Scienti ID | 0000036790-17948 | Scienti URL | https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S1369800123004985 | Openalex URL | https://openalex.org/W4387071822 |
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| Doi URL | https://doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107805 | ||||