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Hecho en Colombia

Monitoring of Polymer Removal Process for Copper Interconnect

Acceso Abierto

Idioma: Inglés

Publicado: 27/10/2013

APC (est): No disponible

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Copper Interconnects and Reliability

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FuenteMeeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM)	Cuartil año de publicaciónNo disponible	VolumenMA2013-02
Issue30	Páginas2114 - 2114	pISSNNo disponible
ISSN1091-8213	Perfil OpenAlexhttps://openalex.org/S4210168594

Doi URL	https://doi.org/10.1149/ma2013-02/30/2114	Open_access URL	https://iopscience.iop.org/article/10.1149/MA2013-02/30/2114/pdf	Openalex URL	https://openalex.org/W4232993650

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