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FuenteMaterials Science in Semiconductor Processing | Cuartil año de publicaciónNo disponible | Volumen148 |
IssueNo disponible | Páginas106762 - 106762 | pISSNNo disponible |
ISSN1369-8001 | Perfil OpenAlexhttps://openalex.org/S82126420 | |
| Scienti ID | 0000279722-35 | Scienti ID | 0000953334-61 | Openalex URL | https://openalex.org/W4229445166 |
|---|---|---|---|---|---|
| Doi URL | https://doi.org/10.1016/j.mssp.2022.106762 | Scienti URL | https://www.journals.elsevier.com/materials-science-in-semiconductor-processing | ||