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Study of the surface chemistry, surface morphology, optical, and structural properties of InGaN thin films deposited by RF magnetron sputtering

Acceso Cerrado

Idioma: Inglés

Publicado: 11/02/2022

APC (est): No disponible

Abstract no disponible

GaN-based semiconductor devices and materials

FuenteApplied Surface Science	Cuartil año de publicaciónNo disponible	Volumen586
IssueNo disponible	Páginas152795 - 152795	pISSNNo disponible
ISSN0169-4332	Perfil OpenAlexhttps://openalex.org/S42323631

Scienti ID	0000700053-26	Scholar URL	https://scholar.google.com/scholar?hl=en&as_sdt=0%2C5&q=info%3AVD3Sb5eODB8J%3Ascholar.google.com&btnG=	Scienti URL	https://www.journals.elsevier.com/applied-surface-science
Openalex URL	https://openalex.org/W4211018451	Doi URL	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.152795	Scholar citations URL	https://scholar.google.com/scholar?cites=2237319895963549012&as_sdt=2005&sciodt=0,5&hl=en

Artículo de revista