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Relationship between CH4/Ar ratio, stoichiometry, and mechanical properties of TaCx coatings produced by reactive magnetron sputtering

Acceso Cerrado

Idioma: Inglés

Publicado: 25/04/2021

APC (est): No disponible

Abstract no disponible

Advanced materials and composites

FuenteApplied Surface Science	Cuartil año de publicaciónNo disponible	Volumen559
IssueNo disponible	Páginas149879 - 149879	pISSNNo disponible
ISSN0169-4332	Perfil OpenAlexhttps://openalex.org/S42323631

Scholar URL	https://scholar.google.com/scholar?hl=en&as_sdt=0%2C5&q=info%3As2e7VTLVRP0J%3Ascholar.google.com&btnG=	Openalex URL	https://openalex.org/W3158533775	Scholar citations URL	https://scholar.google.com/scholar?cites=18249946002175518643&as_sdt=2005&sciodt=0,5&hl=en
Doi URL	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2021.149879

Artículo de revista