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Determination of elastic parameters of Si3N4 thin films by means of a numerical approach and bulge tests

Acceso Cerrado

ID Minciencias: ART-0000540030-96

Ranking: ART-ART_A2

Idioma: Inglés

Publicado: 21/12/2018

APC (est): No disponible

Abstract no disponible

Metal and Thin Film Mechanics

FuenteThin Solid Films	Cuartil año de publicaciónNo disponible	Volumen672
IssueNo disponible	Páginas66 - 74	pISSNNo disponible
ISSN0040-6090	Perfil OpenAlexhttps://openalex.org/S84339699

Minciencias ID	ART-0000540030-96	Scienti ID	0000540030-96	Openalex URL	https://openalex.org/W2906013134
Scholar URL	https://scholar.google.com/scholar?hl=en&as_sdt=0%2C5&q=info%3AnFv5BMwzrLMJ%3Ascholar.google.com&btnG=	Doi URL	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2018.12.039	Scholar citations URL	https://scholar.google.com/scholar?cites=12946779980133129116&as_sdt=2005&sciodt=0,5&hl=en

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