Películas delgadas de Ti-Zr-Si-N se depositaron sobre sustratos de acero inoxidable 316 L usando la técnica de co-sputtering reactivo. El análisis de la estructura se realizó mediante difracción de rayos X (DRX), el análisis morfológico se realizó por microscopía electrónica de barrido (MEB) y microscopía óptica 3D. Los estudios de oxidación cíclica se realizaron en un horno en ambiente seco con un total de 300 ciclos, cada uno con una tasa de calentamiento de 46 °C/min hasta lograr una temperatura de 600 °C, la cual fue sostenida durante 30 min y finalmente enfriado a 20 °C/min. Los recubrimientos mejoraron la resistencia a la corrosión del acero inoxidable a altas temperaturas en un 30% debido a la formación de óxidos protectores. En este trabajo se discute el mecanismo de corrosión por oxidación cíclica para los recubrimientos realizados.