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Incremento de las propiedades mecánicas del Nitruro de Titanio mediante aplicación de un sistema multicapa de Tin/TiAlN depositado por pulverización catódica

Acceso Abierto
ID Minciencias: ART-0000154490-51
Ranking: ART-GC_ART

Abstract:

Multicapas de TiN/TiAIN fueron depositadas mediante la técnica d.c. magnetrón sputtering reactivo, a partir de blancos de titanio y aluminio de 10 cm de diámetro y de 99.9% de pureza en una atmósfera de argón-nitrógeno, a una temperatura del sustrato de 300°C y presión de 7x10-3 mbar. Como sustratos se utilizaron probetas de silicio con orientación (100) y de acero AISI M2. Inicialmente, se investigó la influencia del contenido de aluminio sobre la dureza de los recubrimientos de TiAlN y posteriormente se analizó el comportamiento de las propiedades mecánicas de los recubrimientos de TiN/TiAlN en función del número de multicapas. Para tales efectos se determinó la composición química de los recubrimientos mediante es pectroscopia EDX; la estructura cristalina por difracción de rayos X (XRD) y la morfología de crecimiento a través de microscopia electrónica de barrido (SEM). La dureza y la adherencia fueron determinadas por la técnica de la microindentación y de rayado respectivamente.

Tópico:

Metal and Thin Film Mechanics

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Cuartil año de publicaciónNo disponible
Volumen71
IssueNo disponible
Páginas6 - 6
pISSN0122-056X
ISSNNo disponible

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