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Deposition of B4C/BCN/c-BN multilayered thin films by r.f. magnetron sputtering

Acceso Cerrado
Idioma: Inglés
Publicado: 03/10/2005
APC (est): No disponible

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Tópico:

Metal and Thin Film Mechanics

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FuenteThin Solid Films
Cuartil año de publicaciónNo disponible
Volumen494
Issue1-2
Páginas53 - 57
pISSNNo disponible
ISSN0040-6090
Perfil OpenAlexhttps://openalex.org/S84339699

Enlaces e Identificadores:

Scienti ID0000164194-18Scienti ID0000220213-39Scienti ID0000154490-4
Scienti ID0000000582-92Scienti ID0000000710-594Scholar citations URLhttps://scholar.google.com/scholar?cites=5956724278526458344&as_sdt=2005&sciodt=0,5&hl=en
Scholar URLhttps://scholar.google.com/scholar?hl=en&as_sdt=0%2C5&q=info%3A6LmD1iuJqlIJ%3Ascholar.google.com&btnG=Doi URLhttps://doi.org/10.1016/j.tsf.2005.08.192Openalex URLhttps://openalex.org/W2137838239
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