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FuenteJournal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films | Cuartil año de publicaciónNo disponible | Volumen6 |
Issue3 | Páginas814 - 816 | pISSNNo disponible |
ISSN0734-2101 | Perfil OpenAlexhttps://openalex.org/S4210190837 | |
| Doi URL | https://doi.org/10.1116/1.575136 | Openalex URL | https://openalex.org/W2117903249 | ||
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