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Summary Abstract: Analysis of sputter coating uniformity by computer modeling

Acceso Cerrado
Idioma: Inglés
Publicado: 01/05/1988
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Tópico:

Metal and Thin Film Mechanics

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FuenteJournal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
Cuartil año de publicaciónNo disponible
Volumen6
Issue3
Páginas1891 - 1892
pISSNNo disponible
ISSN0734-2101
Perfil OpenAlexhttps://openalex.org/S4210190837

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Scholar URLhttps://scholar.google.com/scholar?hl=en&as_sdt=0%2C5&q=info%3AfOF7wpl7pMAJ%3Ascholar.google.com&btnG=Scholar citations URLhttps://scholar.google.com/scholar?cites=13881355851785822588&as_sdt=2005&sciodt=0,5&hl=enDoi URLhttps://doi.org/10.1116/1.575236
Openalex URLhttps://openalex.org/W2115037817
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