En este trabajo se presenta un estudio de las propiedades estructurales de peliculas delgadas del compuesto Cu 2 ZnSnSe 4 variando tanto la masa (M X ) como la temperatura del sustrato al cual fue evaporado (T s ) el compuesto binario ZnSe. Todas las muestras fueron depositadas por el metodo de co-evaporacion en tres etapas y manteniendo constante los demas parametros. A partir de las medidas de difraccion de Rayos X fue posible establecer con el incremento de la T s la presencia de fases binarias asociadas al compuesto cuaternario durante el proceso de crecimiento del material. Se encontro que alrededor del pico principal, 2 Θ = 27,1°, predominan las fases binarias y la presencia del ZnSe que se forma durante la subsecuente etapa de selenizacion del material. Una especie de bifurcacion en el pico principal (2 Θ = 27,1°) fue observado para la transicion entre M ZnSe = 0,153 g a 0,171 g. Medidas de difraccion de rayos x fueron realizadas al compuesto binarios puro, observandose una correspondencia con los picos encontrados alrededor del pico principal del compuesto. Un estudio a traves de espectroscopia Raman evidencio corrimientos raman asociados a los compuestos binarios observados por XRD. A partir de la ecuacion de Scherrer se encontro que los tamanos de los cristalitos variaban entre 80 y 90 nm. Abstract: This work presents a study of the structural properties of thin films of the compound Cu2ZnSnSe4 varying both mass (MX) and the substrate temperature which was evaporated (Ts) ZnSe binary compound. All samples were deposited by co-evaporation method in three phases keeping all other parameters constant. From measurements of X-ray diffrac- tion it was possible to establish Ts increasing the presence of associated binary phase’s quaternary compound during the growth process of the material. It was found that around the main peak, 2Θ = 27,1°, predominantly binary phases and the presence of ZnSe which is formed during the subsequent step of selenization of the material. A sort of fork in the main peak (2Θ = 27,1°) was observed for the transition between MZnSe = 0,153 g to 0,171 g. X-Ray diffraction measurements were made at binary compound pure, observing a correspondence with the peaks found around the main peak of the compound. A study by Raman spectroscopy, Raman shifts associated evidenced binary compounds observed by XRD. From the Scherrer equation it was found that crystallite sizes range between 80 and 90 nm.