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FuenteJournal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films | Cuartil año de publicaciónNo disponible | Volumen3 |
Issue3 | Páginas822 - 823 | pISSNNo disponible |
ISSN0734-2101 | Perfil OpenAlexhttps://openalex.org/S4210190837 | |