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FuenteJournal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films | Cuartil año de publicaciónNo disponible | Volumen13 |
Issue6 | Páginas2803 - 2807 | pISSNNo disponible |
ISSN0734-2101 | Perfil OpenAlexhttps://openalex.org/S4210190837 | |
| Openalex URL | https://openalex.org/W2015385293 | Doi URL | https://doi.org/10.1116/1.579708 | ||
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