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FuenteMaterials Science in Semiconductor Processing | Cuartil año de publicaciónNo disponible | Volumen37 |
IssueNo disponible | Páginas73 - 81 | pISSNNo disponible |
ISSN1369-8001 | Perfil OpenAlexhttps://openalex.org/S82126420 | |
| Minciencias ID | ART-0000016640-30 | Scienti ID | 0000016640-30 | Scholar URL | https://scholar.google.com/scholar?hl=en&as_sdt=0%2C5&q=info%3AgLWpLznWyZkJ%3Ascholar.google.com&btnG= |
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| Scholar citations URL | https://scholar.google.com/scholar?cites=11081623899222947200&as_sdt=40005&sciodt=0,10&hl=en | Doi URL | https://doi.org/10.1016/j.mssp.2015.02.006 | Openalex URL | https://openalex.org/W1996675382 |
