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FuenteJournal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena | Cuartil año de publicaciónNo disponible | Volumen13 |
Issue2 | Páginas327 - 330 | pISSNNo disponible |
ISSN1071-10231520-8567 | Perfil OpenAlexhttps://openalex.org/S4210169477 | |