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TiAlN coatings deposited by triode magnetron sputtering varying the bias voltage

Acceso Cerrado
ID Minciencias: ART-0000018350-22393
Ranking: ART-ART_A1
Idioma: Inglés
Publicado: 12/02/2011
APC (est): No disponible

Abstract:

Abstract no disponible

Tópico:

Metal and Thin Film Mechanics

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Información de la Fuente:

SCImago Journal & Country Rank
FuenteApplied Surface Science
Cuartil año de publicaciónNo disponible
Volumen257
Issue14
Páginas6181 - 6185
pISSNNo disponible
ISSN0169-4332
Perfil OpenAlexhttps://openalex.org/S42323631

Enlaces e Identificadores:

Minciencias IDART-0000018350-22393Scienti ID0000018350-22393Scholar citations URLhttps://scholar.google.com/scholar?cites=17113132341528844041&as_sdt=2005&sciodt=0,5&hl=en
Openalex URLhttps://openalex.org/W1974809930Pdf URLhttps://www.academia.edu/download/46817103/TiAlN_coatings_deposited_by_triode_magne20160626-12486-i1mcyd.pdfDoi URLhttps://doi.org/10.1016/j.apsusc.2011.02.027
Scholar URLhttps://scholar.google.com/scholar?hl=en&as_sdt=0%2C5&q=info%3ACVcTAzIPfu0J%3Ascholar.google.com&btnG=
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