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FuenteJournal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films | Cuartil año de publicaciónNo disponible | Volumen8 |
Issue4 | Páginas3314 - 3318 | pISSNNo disponible |
ISSN0734-2101 | Perfil OpenAlexhttps://openalex.org/S4210190837 | |
| Openalex URL | https://openalex.org/W1967843878 | Doi URL | https://doi.org/10.1116/1.576541 | ||
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