Las investigaciones de la influencia de las operaciones de los procesos tecnologicos de fabricacion de semiconductores en las tensiones elasticas de material y en los defectos puntuales y lineales son muy importantes para el desarrollo de electronica. En el presente articulo se realiza el resumen de los resultados cientificos publicados en las revistas internacionales sobre las tensiones elasticas y sobre comportamiento de los defectos de la red cristalina durante procedimiento tecnologico de fabricacion de las estructuras semiconductoras.