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Hecho en Colombia
F E Grunthaner
Space Micro Inc
Laboratorio de Propulsión a Reacción
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Micromachined array of electrostatic energy analyzers for charged particles
Acceso Cerrado
Fuente: Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
Roland Stalder
S Boumsellek
Thorsten Zandt
Thomas W Kenny
Michael Hecht
F E Grunthaner
Temas:
Fabrication
Bessel function
Surface micromachining
Charged particle
Etching (microfabrication)
Spectrum analyzer
Silicon
Materials science
Optics
Optoelectronics
Physics
Nanotechnology
Ion
Medicine
Alternative medicine
Pathology
Quantum mechanics
Layer (electronics)
Publicado: 1994
Citaciones:
15
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