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ImpactU Versión 3.10.0
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Base de Datos: 26/06/2025
Hecho en Colombia
Jae Wung Lee
VTT Technical Research Centre of Finland
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Cavity-enhanced sacrificial layer micromachining for faster release of thin film encapsulated MEMS
Acceso Cerrado
ART-ART_A1
ID Minciencias: ART-0000326607-24
Fuente: Journal of Micromechanics and Microengineering
Jae Wung Lee
jaibir sharma
Margarita Narducci
Srinivas Merugu
Zhang Xiao Lin
Navab Singh
Temas:
Surface micromachining
Microelectromechanical systems
Materials science
Layer (electronics)
Bulk micromachining
Optoelectronics
Nanotechnology
Fabrication
Medicine
Alternative medicine
Pathology
Publicado: 2015
Citaciones:
4
Altmétricas:
0
Artículo de revista
1
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