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Navab Singh
Institute of Microelectronics
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Dual MEMS Resonator Structure for Temperature Sensor Applications
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Fuente: IEEE Transactions on Electron Devices
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Publicado: 2017
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Cavity-enhanced sacrificial layer micromachining for faster release of thin film encapsulated MEMS
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Fuente: Journal of Micromechanics and Microengineering
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Tópico:
Acoustic Wave Resonator Technologies
Publicado: 2015
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