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SV Babu
Clarkson University
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Doping and crystallization of amorphous SiGe films with an excimer (KrF) laser
Acceso Cerrado
Fuente: Journal of materials research/Pratt's guide to venture capital sources
Sitaraman Krishnan
M I Chaudhry
SV Babu
Temas:
Materials science
Excimer laser
Optoelectronics
Doping
Dopant
Amorphous solid
Dopant Activation
Crystallization
Silicon
Amorphous silicon
Germanium
Laser
Irradiation
Optics
Crystalline silicon
Crystallography
Chemical engineering
Chemistry
Physics
Nuclear physics
Engineering
Publicado: 1995
Citaciones:
5
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Artículo de revista
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