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Hecho en Colombia
Michael Aziz
Universidad Harvard
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Pulsed excimer and CO2 laser annealing of ion-implanted silicon
Acceso Cerrado
Fuente: Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
Jagdish Narayan
R B James
O W Holland
Michael Aziz
Temas:
Materials science
Annealing (glass)
Silicon
Excimer laser
Pulse duration
Laser
Ion implantation
Doping
Analytical Chemistry (journal)
Ion
Optoelectronics
Optics
Chemistry
Composite material
Physics
Organic chemistry
Chromatography
Publicado: 1985
Citaciones:
13
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Artículo de revista
1
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