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ImpactU Versión 3.10.0
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Hecho en Colombia
Jing Jing Wang
Universidad Normal de Shaanxi
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Advanced Monitoring of TMAH Solution
Acceso Cerrado
Fuente: Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena/Solid state phenomena
Jing Jing Wang
Eugene Shalyt
Chuan Nan Bai
Guang Chuan Liang
Michael MacEwan
Vishal Parekh
Temas:
Photoresist
Materials science
Wafer
Etching (microfabrication)
Photolithography
Ammonium hydroxide
Aqueous solution
Tetramethylammonium hydroxide
Fabrication
Nanotechnology
Critical dimension
Chemical engineering
Chemistry
Organic chemistry
Optics
Medicine
Alternative medicine
Layer (electronics)
Pathology
Engineering
Physics
Publicado: 2014
Citaciones:
3
Altmétricas:
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Artículo de revista
Surface Treatment Method and Its Metrology for Preventing Pattern Collapse
Acceso Cerrado
Fuente: Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM)
Chuannan Bai
Jing Jing Wang
Eugene Shalyt
Temas:
Reagent
Nanotechnology
Surface tension
Materials science
Silane
Solvent
Chemical engineering
Chemistry
Process engineering
Composite material
Organic chemistry
Engineering
Physics
Quantum mechanics
Publicado: 2017
Citaciones:
1
Altmétricas:
0
Artículo de revista
1
NaN
